[实用新型]一种用于合成氮化硅粉体的反应系统有效
申请号: | 201820530498.6 | 申请日: | 2018-04-13 |
公开(公告)号: | CN208135902U | 公开(公告)日: | 2018-11-23 |
发明(设计)人: | 任小平 | 申请(专利权)人: | 浙江东瓷新材料有限公司 |
主分类号: | C01B21/068 | 分类号: | C01B21/068;C04B35/584 |
代理公司: | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人: | 尉伟敏 |
地址: | 317300 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及氮化硅制备领域,公开了一种用于合成氮化硅粉体的反应系统,包括微波等离子预热器、悬浮反应器和保温冷却器。悬浮反应器包括炉管、炉壳、加热火炬和喷管;炉管内腔分为加热区和反应区,炉管的上端固定有加热火炬,炉管下端设有出料口;炉壳套设于炉管外部且炉管与炉壳之间设有保温棉;喷管穿设炉壳、炉管进入炉管内腔的加热区,且喷管末端设有喷嘴;炉壳上设有氮气入口;在炉管的内壁同一高度上设有一圈进气缝,进气缝在竖直方向上开口向炉管内腔斜向上,进气缝在水平面上开口与炉管内壁曲面近似或完全相切且所有开口朝向一致。本实用新型反应系统制得的氮化硅粉体纯度高、粒径细、ɑ相含量高、产量高、出产快。 | ||
搜索关键词: | 炉管 炉壳 氮化硅粉体 反应系统 炉管内腔 进气缝 本实用新型 悬浮反应器 喷管 加热火炬 加热区 开口 合成 微波等离子 朝向一致 氮气入口 炉管内壁 喷管末端 上端固定 喷嘴 保温棉 出料口 氮化硅 反应区 冷却器 上开口 斜向上 预热器 穿设 粒径 内壁 竖直 下端 相切 制备 保温 近似 外部 | ||
【主权项】:
1.一种用于合成氮化硅粉体的反应系统,其特征在于:包括依次连接的微波等离子预热器、悬浮反应器和保温冷却器;所述悬浮反应器包括炉管(1)、炉壳(2)、加热火炬(3)和喷管(4);所述炉管的内腔由上至下依次分为加热区(A)和反应区(B),炉管的上端固定有向下喷火的所述加热火炬,炉管的下端设有出料口(5);所述炉壳套设于炉管外部且炉管与炉壳之间设有空隙,所述空隙内填充有保温棉(9);所述喷管与微波等离子预热器的出料端连接并穿设炉壳、炉管进入炉管内腔的加热区,且喷管的末端设有喷嘴(6),所述喷嘴朝上且位于加热火炬下方;所述炉壳上设有氮气入口(7);在炉管的内壁同一高度上设有一圈进气缝(8),进气缝在竖直方向上开口向炉管内腔斜向上,进气缝在水平面上开口与炉管内壁曲面近似或完全相切且所有开口朝向一致。
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