[实用新型]显微组件下大行程低温漂的低温微纳米压痕测试系统

摘要

本实用新型涉及一种显微组件下大行程低温漂的低温微纳米压痕测试系统，属于精密仪器技术领域。包括真空室系统模块、滑动式低温恒温器组件和压痕测试机械结构模块。利用精密位移驱动平台配合音圈电机的混合驱动方式，实现大行程准静态加载，利用接触制冷方式对样品和压头同时制冷，通过内嵌集成的加热元件和测温元件，实现连续变温闭环调节并削弱低温“温漂”对测试结果的影响，利用显微成像组件实现对压痕位置的精确定位与表面形貌原位观测。为开展材料在低温环境下的力学性能以及材料力学性能随温度的变化规律等研究提供试验基础，对航空航天、极地和深海科考装备以及超导传输设备等关键服役材料力学性能的研究具有显著的应用价值。

主权项

1.一种显微组件下大行程低温漂的低温微纳米压痕测试系统，其特征在于：包括真空室系统模块，滑动式低温恒温器组件（2）和压痕测试机械结构模块（3），所述压痕测试机械结构模块（3）置于真空室系统模块的真空室隔振平台（4）上，并分别与安装在真空室上盖板（1）上的滑动式低温恒温器组件（2）和真空室侧盖板（12）上的软管式低温恒温组件安装孔（10）的制冷软管相连，构建全真空、局部低温物理环境；所述滑动式低温恒温器组件（2）中，低温恒温器（21）通过卡环组件（22）与柔性密封盖（23）相连，柔性密封盖（23）固定在真空室系统模块的真空室上盖板（1）上；耐低温直线轴承（24）与真空室上盖板（1）固连，并对冷指（28）起到支撑导向作用；密封波纹管（25）两侧法兰分别与真空室上盖板（1）、冷指法兰（27）相连，保证真空室的密封性；通过减震波纹管（26）对通入低温恒温器（21）的制冷剂减震，避免引起冷指端部连接件（29）的异常振动，影响压痕测试精度。