[实用新型]应用于MEMS微纳加工的一体化无装配多层微齿轮结构有效
| 申请号： | 201820535081.9 | 申请日： | 2018-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN208268346U | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 杜亦佳;陈余;周泉丰;代刚;张健;刘利芳;李顺;方雯;任尚清 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | F16H55/17 | 分类号： | F16H55/17;F16H55/12 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 程华 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开一种应用于MEMS微纳加工的一体化无装配多层微齿轮结构，包括生根轴承、第一阶梯型齿轮定位结构、第二阶梯型齿轮定位结构和多层齿轮层，所述生根轴承下端面固定连接在一齿轮基底上，所述第二阶梯型齿轮定位结构设置于所述生根轴承的下端，所述第二阶梯型齿轮定位结构固定连接在所述齿轮基底上，所述第一阶梯型齿轮定位结构设置于所述生根轴承的上端，所述多层齿轮层套设在所述生根轴承的中部。本实用新型的多层微齿轮结构为一体化结构，多层微齿轮结构的装配精度一致性更好，更适于批量化生产，齿轮结构连接强度更高。 | ||
| 搜索关键词： | 齿轮定位结构 多层 阶梯型 轴承 微齿轮 生根 装配 本实用新型 微纳加工 齿轮层 齿轮 基底 一体化结构 一体化 齿轮结构 批量化 下端面 上端 下端 应用 生产 | ||
【主权项】：
1.一种应用于MEMS微纳加工的一体化无装配多层微齿轮结构，其特征在于：包括生根轴承、第一阶梯型齿轮定位结构、第二阶梯型齿轮定位结构和多层齿轮层，所述生根轴承下端面固定连接在一齿轮基底上，所述第二阶梯型齿轮定位结构设置于所述生根轴承的下端，所述第二阶梯型齿轮定位结构固定连接在所述齿轮基底上，所述第一阶梯型齿轮定位结构设置于所述生根轴承的上端，所述多层齿轮层套设在所述生根轴承的中部。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国工程物理研究院电子工程研究所，未经中国工程物理研究院电子工程研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201820535081.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：液力机
- 下一篇：一种复合型高分子齿轮
