[实用新型]一种超纯氢气生产系统

摘要

本实用新型公开了一种超纯氢气生产系统，属于气体纯化技术领域。本实用新型系统在高压以及液氮的低温环境下，采用循环吸附工艺生产超纯氢气，通过安装检测器，当氢气纯度检测合格后再进行充装作业，若不合格则进入吸附循环，保证了成品氢气质量，节约了人力电力，减少了冷媒的浪费，具有安全高效的特点。该系统中设有吸附剂纯化系统，可通过加热对吸附剂进行在线活化，安全有效，能耗低；且只要有普通气体的生产场所就可以实现超纯氢气的安全生产，充装过程中随时都可停机，且停电等突发状况都不影响超纯氢气的质量，适用性强。

主权项

1.一种超纯氢气生产系统，包括原料氢气储罐（1）和纯化器（7），其特征在于，所述原料氢气储罐（1）经由原料氢气双向截止阀（2）与隔膜压缩机（6）进口连接，原料氢气储罐（1）与原料氢气双向截止阀（2）之间的管道上连接真空泵（3）；纯化器（7）包括内胆（7‑2）和外部夹层（7‑1），其中，内胆（7‑2）上设有原料氢气进口（7‑5）和超纯氢气出口（7‑6），内胆（7‑2）内部分层充装吸附剂，内胆（7‑2）中部设有吸附剂活化管道（8），该吸附剂活化管道（8）内充装有导热油，且通过加热探头（9）与温度控制器（12）相连接，温度控制器（12）分别通过液氮低位探头（11）和液氮高位探头（10）与纯化器（7）的外部夹层（7‑1）相连通；外部夹层（7‑1）包括液氮入口（7‑3）和液氮出口（7‑4），液氮入口（7‑3）与液氮储罐（5）相连通；隔膜压缩机（6）出口与原料氢气进口（7‑5）相连通，超纯氢气出口（7‑6）通过超纯氢气管道（14）连接充装面板（15），该充装面板（15）第一支路经由第一截止阀（16）连接检测器（19），第二支路经由第二截止阀（17）连接成品氢气钢瓶（20），第三支路经由第三截止阀（18）通过氢气循环管道（13）与原料氢气双向截止阀（2）后的原料氢气管道（4）相连通。