[实用新型]一种抛光游轮有效
| 申请号： | 201820536559.X | 申请日： | 2018-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN208100090U | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 孟为民 | 申请（专利权）人： | 菲特晶（南京）电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30 |
| 代理公司： | 南京常青藤知识产权代理有限公司 32286 | 代理人： | 仲晖 |
| 地址： | 210000 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种抛光游轮，涉及晶片的加工装置技术领域，包括本体，所述本体中央设有安装孔，所述本体的边缘设有传动齿，所述安装孔的外部设有沿圆周方向均匀排布的游轮孔，所述游轮孔为矩形且四角处为圆角，所述圆角包括中心半圆弧和与所述中心半圆弧两端相连的第一侧弧和第二侧弧，所述中心半圆弧与所述第一侧弧、所述第二侧弧分别相切，所述安装孔与所述游轮孔间设有沿圆周方向均匀排布的第一抛光孔，所述游轮孔与所述传动齿间设有沿圆周方向均匀排布的第二抛光孔。本实用新型可减少晶片碎片的产生，抛光液渗透性好，晶片的抛光效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 游轮 沿圆周方向 均匀排布 安装孔 半圆弧 晶片 本实用新型 传动齿 抛光孔 抛光 圆角 加工装置 抛光效果 抛光液 渗透性 四角处 相切 外部 | ||
【主权项】：
1.一种抛光游轮，包括本体，所述本体中央设有安装孔，所述本体的边缘设有传动齿，其特征在于，所述安装孔的外部设有沿圆周方向均匀排布的游轮孔，所述游轮孔为矩形且四角处为圆角，所述圆角包括中心半圆弧和与所述中心半圆弧两端相连的第一侧弧和第二侧弧，所述中心半圆弧与所述第一侧弧、所述第二侧弧分别相切，所述安装孔与所述游轮孔间设有沿圆周方向均匀排布的第一抛光孔，所述游轮孔与所述传动齿间设有沿圆周方向均匀排布的第二抛光孔。
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