[实用新型]一种扩散泵抽真空系统有效
| 申请号： | 201820537906.0 | 申请日： | 2018-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN208073885U | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 刘生利;吴为民;刘春 | 申请（专利权）人： | 营口市荣兴达科技实业股份有限公司 |
| 主分类号： | F04F9/00 | 分类号： | F04F9/00;F04B41/06 |
| 代理公司： | 沈阳易通专利事务所 21116 | 代理人： | 于飞 |
| 地址： | 115000 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及抽真空系统，一种扩散泵抽真空系统，包括扩散泵、用于对扩散泵排气口提供负压的机械泵、以及连接扩散泵和机械泵的排气管路，其中扩散泵包括横置斗状的排气管，该排气管大口径端与所述扩散泵口对接，小口径端与所述排气管路连通；所述排气管路包括第一竖管、第一横管和第二竖管，其中第一竖管的下端与所述排气管小口径端对接，第一竖管的第一端与所述第一横贯第一端对接，第一竖管的第二端与所述第二竖管中段对接，第二竖管的下端与机械泵连通，第二竖管的上端设置活动泄压组件；所述泄压组件包括垫片、压盘、以及朝上设置的法兰盘端口。 | ||
| 搜索关键词： | 竖管 扩散泵 抽真空系统 排气管路 机械泵 排气管 小口径端 泄压组件 第一端 下端 连通 本实用新型 朝上设置 大口径端 法兰盘 排气口 上端 垫片 斗状 负压 横管 横置 压盘 中段 横贯 | ||
【主权项】：
1.一种扩散泵抽真空系统，其特征在于：包括扩散泵、用于对扩散泵排气口提供负压的机械泵、以及连接扩散泵和机械泵的排气管路，其中扩散泵包括横置斗状的排气管，该排气管大口径端与所述扩散泵对接，小口径端与所述排气管路连通；所述排气管路包括第一竖管、第一横管和第二竖管，其中第一竖管的下端与所述排气管小口径端对接，第一竖管的上端与所述第一横管第一端对接，第一横管的第二端与所述第二竖管中段对接，第二竖管的下端与机械泵连通，第二竖管的上端设置活动泄压组件；第二竖管上具有可自由弯折的波纹管以及在排气方向设置在波纹管后方的电磁真空差压阀；所述泄压组件包括垫片、压盘、以及朝上设置的法兰盘端口，所述法兰盘端口的顶面具有环状的凹槽，所述垫片具有形状与凹槽匹配的下凸起结构，垫片的顶面具有上凹槽结构，所述垫片的下下凸起结构嵌入的安装在凹槽内，盖板压装在垫片的顶面，使所述法兰盘端口顶面、垫片和压盘形成密封结构。
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