[实用新型]一种应力调控紫外多波长MSM光电探测器

摘要

本实用新型涉及一种应力调控紫外多波长MSM光电探测器，利用外延于同一衬底上的两组完全应变超短周期超晶格结构完成紫外双波长的窄线宽探测，不仅极大地简化了双波段探测器件材料结构、生长过程及制备工艺，而且通过精确选择、高度集成，为多波长集成的彩色成像提供基础。本实用新型通过调控单周期超晶格的阱分子、垒分子层数，使二者达到共格界面附近力平衡状态并处于完全应变；设计生长两组完全应变的超短周期超晶格，可实现针对紫外光信号的双波长探测。本实用新型通过在外延衬底同一晶向生长不同阱垒比的多组超短周期超晶格，使多个带隙处于预设波长范围，可获得窄线宽的更多波长紫外探测，从而为集成多波长的彩色成像探测提供前提。

主权项

1.一种应力调控紫外多波长MSM光电探测器，其特征在于，自下而上包括衬底、缓冲层、至少两组超短周期超晶格应变层，以及金属叉指电极；在下的超短周期超晶格应变层的阱宽大于在上的超短周期超晶格应变层的阱宽。