[实用新型]气相沉积冷却装置有效
| 申请号： | 201820554418.0 | 申请日： | 2018-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN208234986U | 公开（公告）日： | 2018-12-14 |
| 发明（设计）人： | 蒲春 | 申请（专利权）人： | 北京创昱科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹;吴欢燕 |
| 地址： | 102209 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及气相沉积技术领域，公开了一种气相沉积冷却装置，包括：冷却液注入机构和升降装置；冷却液注入机构包括：注液部件和进液管；注液部件设置在真空沉积区内，当载体停留在真空沉积区内时，注液部件在升降装置的驱动下上下移动插入载体内部的冷却液容纳区内，注入冷却液；所述进液管从外部伸入所述真空沉积区内并与所述注液部件连通，以便于从外部通过所述注液部件向所述冷却液容纳区内注入冷却液；进液管从外部伸入真空沉积区内并与注液部件连通，以便于从外部通过注液部件向冷却液容纳区内注入冷却液。本实用新型的气相沉积冷却装置能够实现在线气相沉积装置中基片的冷却散热，结构简单、操作方便，散热效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却液 注液部件 真空沉积 冷却装置 气相沉积 进液管 本实用新型 外部 升降装置 注入机构 容纳 伸入 连通 气相沉积装置 散热效率 上下移动 散热 沉积 冷却 驱动 停留 | ||
【主权项】：
1.一种气相沉积冷却装置，应用于在线式气相沉积装置上，所述在线式气相沉积装置包括：真空沉积区和载体；所述载体可携带基片运动至所述真空沉积区内进行薄膜沉积，其特征在于，包括：冷却液注入机构和升降装置；所述冷却液注入机构包括：注液部件和进液管；所述注液部件设置在所述真空沉积区内，当所述载体停留在所述真空沉积区内时，所述注液部件在所述升降装置的驱动下上下移动插入所述载体内部的冷却液容纳区内，注入冷却液；所述进液管从外部伸入所述真空沉积区内并与所述注液部件连通，以便于从外部通过所述注液部件向所述冷却液容纳区内注入冷却液。
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