[实用新型]过滤器的纯化系统有效
申请号: | 201820558237.5 | 申请日: | 2018-04-19 |
公开(公告)号: | CN208356270U | 公开(公告)日: | 2019-01-11 |
发明(设计)人: | 陈彦政;游闵盛;王世昌;陈柏轩 | 申请(专利权)人: | 馗鼎奈米科技股份有限公司 |
主分类号: | B01D35/00 | 分类号: | B01D35/00 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国 |
地址: | 中国台湾台南市永康区亚*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种过滤器的纯化系统,包含过滤器放置架、化学溶液供液系统、第一压力感测器、化学溶液排液系统、第二压力感测器及气泡感测器。过滤器放置架用以装载过滤器。化学溶液供液系统包含供液源、及第一管线连接供液源与过滤器放置架。第一压力感测器设于第一管线上,且配置以感测化学溶液在第一管线中的第一压力。化学溶液排液系统包含排液源、及第二管线连接过滤器放置架与排液源。第二压力感测器设于第二管线上,且配置以感测化学溶液在第二管线中的第二压力。气泡感测器设于第二管线上,且介于第二压力感测器与排液源之间。利用压力感测器与气泡感测器来监控过滤器的纯化结果,可达到节省纯化过滤器的化学溶液消耗量以及缩减纯化时间的功效。 | ||
搜索关键词: | 过滤器 化学溶液 压力感测器 放置架 感测器 排液 纯化系统 供液系统 管线连接 排液系统 供液源 感测 纯化过滤器 监控过滤器 消耗量 配置 装载 | ||
【主权项】:
1.一种过滤器的纯化系统,其特征在于,该过滤器的纯化系统包含:一过滤器放置架,配置以装载一过滤器;一化学溶液供液系统,包含一供液源、以及一第一管线连接该供液源与该过滤器放置架,其中该供液源配置以供应该过滤器一化学溶液;一第一压力感测器,设于该第一管线上,且配置以感测该化学溶液在该第一管线中的一第一压力;一化学溶液排液系统,包含一排液源、以及一第二管线连接该过滤器放置架与该排液源,其中该排液源配置以容置经由该过滤器所排出的该化学溶液;一第二压力感测器,设于该第二管线上,且配置以感测该化学溶液在该第二管线中的一第二压力;以及一气泡感测器,设于该第二管线上,且介于该第二压力感测器与该排液源之间,其中该气泡感测器配置以感测通过的该化学溶液中是否有气泡。
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