[实用新型]一种硅片脱胶工装

摘要

本实用新型提供一种硅片脱胶工装，涉及工业领域。该一种硅片脱胶工装，包括第一支撑柱，所述第一支撑柱的顶部固定连接有支撑板，所述支撑板的顶部与酸液池的底部固定连接，所述酸液池通过其表面设置的转轴与转门的一端转动连接，所述酸液池的表面固定连接有耐酸连接管，所述耐酸连接管的底部固定连接有喷头，所述耐酸连接管的表面固定连接有箱体，所述箱体的底部与水浴室的顶部固定连接。该一种硅片脱胶工装，通过酸温度感应装置、酸液池、耐酸连接管、喷头和控制显示面板可以对装置内部的酸度进行控制调整，通过两个酸温度感应装置对装置内的液体进行检测，解决了不能对脱胶环境进行微调控制的问题。

主权项

1.一种硅片脱胶工装，包括第一支撑柱(4)，其特征在于：所述第一支撑柱(4)的顶部固定连接有支撑板(3)，所述支撑板(3)的顶部与酸液池(2)的底部固定连接，所述酸液池(2)通过其表面设置的转轴与转门(1)的一端转动连接，所述酸液池(2)的表面固定连接有耐酸连接管(6)，所述耐酸连接管(6)的底部固定连接有喷头(9)，所述耐酸连接管(6)的表面固定连接有箱体(5)，所述箱体(5)的底部与水浴室(20)的顶部固定连接，所述水浴室(20)内壁固定连接有加热板(10)，所述水浴室(20)的底部与耐热托板(11)的顶部固定连接，所述耐热托板(11)底部的两侧均固定连接有第二支撑柱(12)，所述箱体(5)的内壁分别固定连接有搅拌扇(13)、防溅网(14)和固定卡扣(7)，所述固定卡扣(7)的表面卡接有篮具(15)，所述篮具(15)的顶部与升降固定杆(16)的底部固定连接，所述升降固定杆(16)的表面与升降气杆(17)的顶部固定连接，所述升降气杆(17)的底部与固定连接板(19)的顶部固定连接，所述固定连接板(19)的底部与箱体(5)的顶部固定连接。