[实用新型]一种多功能半导体机械手末端执行器

摘要

本实用新型涉及一种多功能半导体机械手末端执行器，所述末端执行器包括系统翻转装置、系统吸附装置、系统托举装置和系统晶圆扫描装置，用以解决现有机械手末端执行器功能单一的问题。本实用新型的半导体机械手末端执行器结构体积小，可实现多种抓取功能，更为轻便灵活。

主权项

1.一种多功能半导体机械手末端执行器，其特征在于，所述末端执行器包括系统翻转装置、系统吸附装置、系统托举装置和系统晶圆扫描装置，所述系统翻转装置包括平行设置的主动轴部分和从动轴部分，主动轴部分依次包括主动同步带轮、主动轴和摆动气缸；从动轴部分依次包括从动轴、轴承座及轴承组件、从动同步带轮；其中，主动同步带轮从动同步带轮通过同步带连接传递动力，所述系统吸附装置包括依次连接的第一手指、第一手指固定件、第一手指连接件、旋转气管接头以及真空吸附气道；其中，第一手指连接件与从动轴连接，第一手指末端具有真空吸附孔，真空吸附气道连接真空吸附孔和旋转气管接头，所述系统托举装置包括依次连接的第二手指、第二手指固定件和第二手指连接件；其中，第二手指末端设有托举定位槽，所述系统晶圆扫描装置包括传感器放大器和感测头。