[实用新型]一种过程磨刀装置以及晶圆切割机有效
| 申请号： | 201820576991.1 | 申请日： | 2018-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN208644892U | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 杨云龙;胡章坤;高金龙;高阳 | 申请（专利权）人： | 江苏京创先进电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B3/36 | 分类号： | B24B3/36 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215513 江苏省苏州市常熟市经济*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型专利提供一种过程磨刀装置以及晶圆切割机，包括支座，压板，支撑架，承载台，定位板，倒勾接头，气管，真空气源，砂轮刀片和磨刀板组成。该装置中所述磨刀板通过微型槽内负压固定在承载台上，所述定位板对磨刀板位置进行定位；所述承载台、支撑架通过两侧倒勾接头、气管和真空气源链接，使负压进入承载台微型槽内；所述支座固定在晶圆切割机机台上，支撑架与压板之间空隙通过防水罩板并用防水密封胶密封；所述承载台固定在支撑架上时，通过螺钉和顶丝三点调节承载台平面与加工平面的平行；承载台上提供接触式测高小平台校正磨刀后刀片深度尺寸。该装置不同于加工平台上的磨刀装置，在切割过程中出现切割品质变差时，可通过该装置在不取下被加工材料的同时进行刀片的修复，大大缩减普通磨刀方法二次上料对准消耗的时间，提高切割效率及切割加工成品的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 磨刀 承载台 支撑架 晶圆切割机 磨刀装置 真空气源 定位板 微型槽 倒勾 负压 压板 气管 承载 被加工材料 本实用新型 防水密封胶 防水罩板 加工平面 加工平台 切割过程 切割加工 切割效率 砂轮刀片 螺钉 板位置 后刀片 接触式 刀片 变差 顶丝 链接 良率 上料 校正 密封 平行 切割 对准 并用 消耗 修复 | ||
【主权项】：
1.一种过程磨刀装置，其特征在于，包括承载台，所述承载台内均布微型槽，通过微型槽内的负压固定磨刀板，所述磨刀板通过定位板进行定位；所述承载台固定在支撑架上时，通过3个螺钉和顶丝调节承载台平面与加工平面的平行；所述支撑架与压板通过螺钉相连，与防水罩板两侧之间形成空隙，该间隙用防水密封胶密封；所述承载台、支撑架通过两侧倒勾接头、气管和真空气源链接，使负压进入承载台微型槽内。
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