[实用新型]一种驱动装置及PECVD设备有效
| 申请号： | 201820582388.4 | 申请日： | 2018-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN208057571U | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 赵永飞 | 申请（专利权）人： | 君泰创新（北京）科技有限公司 |
| 主分类号： | F15B15/02 | 分类号： | F15B15/02;F15B15/20;F15B15/22 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 李蒙蒙;龙洪 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种驱动装置，包括导向轴和套设在其外的导向轴杯，所述导向轴与动力机构传动连接，所述导向轴与导向轴杯之间还设置有导向结构，所述导向结构包括固定在导向轴上的导向键，以及设置在所述导向轴杯内壁且与所述导向键滑动配合的滑道，所述滑道的长度方向与所述导向轴的轴线方向平行。本申请涉及太阳能电池的制造设备，提供了一种驱动装置及PECVD设备，其带有导向键的导向结构代替了直线轴承进行导向，从而避免高温状态下PECVD沉积室内的污染问题。 | ||
| 搜索关键词： | 导向轴 导向结构 驱动装置 导向键 滑道 太阳能电池 传动连接 动力机构 高温状态 滑动配合 污染问题 直线轴承 制造设备 轴线方向 杯内壁 沉积 申请 平行 室内 | ||
【主权项】：
1.一种驱动装置，包括导向轴和套设在其外的导向轴杯，所述导向轴与动力机构传动连接，所述导向轴与导向轴杯之间还设置有导向结构，所述导向结构包括固定在导向轴上的导向键，以及设置在所述导向轴杯内壁且与所述导向键滑动配合的滑道，所述滑道的长度方向与所述导向轴的轴线方向平行。
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