[实用新型]一种单晶炉热场

摘要

本实用新型公开了一种单晶炉热场，包括炉体、加热器和坩锅，炉体的底部固定有升降座，升降座的底部固定有底座，炉体内壁固定有环台，加热器滑动内套在环台上且坩埚位于加热器的中轴线位置且不与加热器接触干涉，升降座内部铰接有螺杆，螺杆上螺纹连接有托板，托板上垂直向上固定有电极柱且电极柱上端贯穿炉体底部位于炉体内部，加热器底部通过电极连接片连接电极柱，底座内部固定有电机，电机主轴端通过锥齿轮连接螺杆的下端。该种单晶炉热场通过采用上移加热器的方式使得晶体生长过程中坩埚脱离加热区，坩埚保持静止不动，有助于提高晶体生长质量，避免出现晶柱断裂的现象，降低生产损耗。

主权项

1.一种单晶炉热场，包括炉体（1）、加热器（4）和坩锅，其特征在于：所述炉体（1）的底部固定有升降座（5），升降座（5）的底部固定有底座（8），所述炉体（1）内壁固定有环台（2），所述加热器（4）滑动内套在环台（2）上且坩埚位于加热器（4）的中轴线位置且不与加热器（4）接触干涉，所述升降座（5）内部铰接有螺杆（10），螺杆（10）上螺纹连接有托板（7），所述托板（7）上垂直向上固定有电极柱（6）且电极柱（6）上端贯穿炉体（1）底部位于炉体（1）内部，所述加热器（4）底部通过电极连接片（41）连接电极柱（6），所述底座（8）内部固定有电机（11），所述电机（11）主轴端通过锥齿轮连接螺杆（10）的下端。