[实用新型]一种温补衰减器三面溅射夹具有效
| 申请号： | 201820586345.3 | 申请日： | 2018-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN208234984U | 公开（公告）日： | 2018-12-14 |
| 发明（设计）人： | 郭冬英;陈庆红;朱雪婷;张铎;张青;罗彦军;喻振宁 | 申请（专利权）人： | 中国振华集团云科电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 昆明合众智信知识产权事务所 53113 | 代理人： | 张玺 |
| 地址： | 550000 贵州省贵*** | 国省代码： | 贵州;52 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种温补衰减器三面溅射夹具，包括底座，底座侧部设有档壁，底座紧挨档壁侧上下重叠设有上溅射夹具与下溅射夹具，上溅射夹具与下溅射夹具通过螺丝固定连接，下溅射夹具另一侧设有辅助固定块，下溅射夹具对应辅助固定块侧开设有容纳槽，上溅射夹具顶部对应容纳槽处开设有通槽，辅助固定块上开设有固定孔，辅助固定块通过螺栓与底座固定连接。 | ||
| 搜索关键词： | 夹具 溅射 辅助固定块 底座 温补衰减器 容纳槽 档壁 三面 本实用新型 底座侧部 螺丝固定 上下重叠 螺栓 固定孔 紧挨 通槽 | ||
【主权项】：
1.一种温补衰减器三面溅射夹具，包括底座，底座侧部设有档壁，其特征在于：所述底座紧挨档壁侧上下重叠设有上溅射夹具与下溅射夹具，上溅射夹具与下溅射夹具通过螺丝固定连接，下溅射夹具另一侧设有辅助固定块，下溅射夹具对应辅助固定块侧开设有容纳槽，上溅射夹具顶部对应容纳槽处开设有通槽，辅助固定块上开设有固定孔，辅助固定块通过螺栓与底座固定连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国振华集团云科电子有限公司，未经中国振华集团云科电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201820586345.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：物理气相沉积反应室的磁铁旋转机构
- 下一篇：一种镀铝机用展平装置
- 同类专利
- 专利分类
