[实用新型]一种探测癌胚抗原的生物传感器

摘要

本实用新型公开了一种探测癌胚抗原的生物传感器，基底上方设置有布拉格反射层，布拉格反射层上方设置有压电膜，压电膜上方设置有上电极层，该敏感层自组装到上电极层有效谐振区，CEA核酸适配体生物敏感层上端探测CEA抗原，布拉格反射层与压电膜之间设置有下电极层，基底内侧设置有交替沉积的低声阻抗、高声阻抗材料，布拉格反射层厚度均为谐振频率四分之一波长，布拉格反射层形成布拉格反射器，保证声波最大程度地被反射到压电膜谐振区内，本实用新型实现了简化工艺流程，降低制备成本，缩短工艺时间，提高生产效率，有较高的品质因素、机电耦合因子与灵敏度，稳定性高，有利于提高生物传感器的灵敏度的功能。

主权项

1.一种探测癌胚抗原的生物传感器，其特征在于：包括布拉格反射层、基底、压电膜、上电极层，CEA核酸适配体生物敏感层，所述基底上方设置有布拉格反射层，所述布拉格反射层上方设置有压电膜，所述压电膜上方设置有上电极层，所述该敏感层自组装到上电极层有效谐振区，所述CEA核酸适配体生物敏感层上端探测CEA抗原，所述布拉格反射层与压电膜之间设置有下电极层，所述基底内侧设置有交替沉积的低声阻抗、高声阻抗材料，所述布拉格反射层厚度均为谐振频率四分之一波长，所述布拉格反射层形成布拉格反射器，保证声波最大程度地被反射到压电膜谐振区内，所述布拉格反射层由低声阻抗材料Ti、高声阻抗材料Mo组成且数量为三对，所述布拉格反射层中Mo‑Ti交替生长。