[实用新型]反应腔室用观察窗组件及反应腔室有效

专利信息
申请号: 201820606342.1 申请日: 2018-04-26
公开(公告)号: CN208478291U 公开(公告)日: 2019-02-05
发明(设计)人: 刘建 申请(专利权)人: 北京北方华创微电子装备有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京思创毕升专利事务所 11218 代理人: 孙向民;廉莉莉
地址: 100176 北京市大*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种反应腔室用观察窗组件和反应腔室,反应腔室用观察窗组件包括套筒,套筒的一端的内壁通过固定件可拆卸地安装有观察窗,固定件的中心透光。反应腔室用观察窗组件能够降低腔室的颗粒风险,且便于维护。
搜索关键词: 反应腔室 观察窗组件 固定件 套筒 透光 观察窗 可拆卸 内壁 腔室 维护
【主权项】:
1.一种反应腔室用观察窗组件,包括套筒,其特征在于,所述套筒的一端的内壁通过固定件可拆卸地安装有观察窗,所述固定件的中心透光;所述观察窗包括圆形部和设于所述圆形部外周的一对定位凸起,所述一对定位凸起沿所述圆形部的径向向外凸出,且沿所述圆形部的径向相对设置,所述一对定位凸起之间形成第一定位结构;所述套筒的所述一端的端面设有固定件安装槽,所述固定件安装槽包括圆形安装部和设于所述圆形安装部外周的一对限位安装部,所述一对限位安装部沿所述圆形安装部的径向向外延伸,且沿所述圆形安装部的径向相对设置;所述固定件包括环形部和设于所述环形部的外周的第二定位结构,所述第二定位结构包括一对限位凸起,所述一对限位凸起沿所述环形部的径向相对设置,且沿所述环形部的轴向延伸,以插入所述第一定位结构内。
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