[实用新型]反应腔室用观察窗组件及反应腔室有效
申请号: | 201820606342.1 | 申请日: | 2018-04-26 |
公开(公告)号: | CN208478291U | 公开(公告)日: | 2019-02-05 |
发明(设计)人: | 刘建 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人: | 孙向民;廉莉莉 |
地址: | 100176 北京市大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种反应腔室用观察窗组件和反应腔室,反应腔室用观察窗组件包括套筒,套筒的一端的内壁通过固定件可拆卸地安装有观察窗,固定件的中心透光。反应腔室用观察窗组件能够降低腔室的颗粒风险,且便于维护。 | ||
搜索关键词: | 反应腔室 观察窗组件 固定件 套筒 透光 观察窗 可拆卸 内壁 腔室 维护 | ||
【主权项】:
1.一种反应腔室用观察窗组件,包括套筒,其特征在于,所述套筒的一端的内壁通过固定件可拆卸地安装有观察窗,所述固定件的中心透光;所述观察窗包括圆形部和设于所述圆形部外周的一对定位凸起,所述一对定位凸起沿所述圆形部的径向向外凸出,且沿所述圆形部的径向相对设置,所述一对定位凸起之间形成第一定位结构;所述套筒的所述一端的端面设有固定件安装槽,所述固定件安装槽包括圆形安装部和设于所述圆形安装部外周的一对限位安装部,所述一对限位安装部沿所述圆形安装部的径向向外延伸,且沿所述圆形安装部的径向相对设置;所述固定件包括环形部和设于所述环形部的外周的第二定位结构,所述第二定位结构包括一对限位凸起,所述一对限位凸起沿所述环形部的径向相对设置,且沿所述环形部的轴向延伸,以插入所述第一定位结构内。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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