[实用新型]基于悬臂梁的d33的压电式微波功率传感器

摘要

本实用新型是一种基于悬臂梁的d33的压电式微波功率传感器，传感器包括高阻硅衬底，衬底上设置有共面波导传输线和压电悬臂梁，共面波导传输线包括中心信号线和地线，地线设置在中心信号线的两侧，压电悬臂梁通过桥墩固定在中心信号线和一侧的地线之间，压电悬臂梁的一端加载质量块，在压电悬臂梁上、未加载质量块的上方附着介质层，在介质层的上方设置有压电材料层，在压电材料层的顶端设置叉指电极。器件工作时悬臂梁受到静电力下拉，根据压电效应，压电悬臂梁上方的叉指电极将之间将产生电压，该电压与微波功率一一对应，因此通过测量电压即可得到微波信号的功率。本实用新型易于集成且被测参数以电信号形式直接输出，后级检测电路简单。

主权项

1.一种基于悬臂梁的d33的压电式微波功率传感器，其特征在于：所述传感器包括高阻硅衬底，在所述高阻硅衬底上设置共面波导传输线和压电悬臂梁（4），所述共面波导传输线包括中心信号线（1）和地线（2），所述地线（2）设置在所述中心信号线（1）的两侧，所述压电悬臂梁（4）通过桥墩固定在中心信号线（1）和一侧的所述地线（2）之间，所述压电悬臂梁（4）的一端加载质量块（3），在所述压电悬臂梁（4）上、未加载所述质量块（3）的上方附着介质层（5），在所述介质层（5）的上方设置有压电材料层（7），在所述压电材料层（7）的顶端设置叉指电极（6），当微波信号在共面波导传输时，所述压电悬臂梁（4）受静电力下拉，压电材料层（7）随之产生形变，根据压电效应，压电材料层（7）上电荷的分布发生变化，产生与微波功率一一对应的电压，通过检测电压进行微波功率的检测。