[实用新型]微机电系统MEMS环境压力和声学传感器有效
| 申请号： | 201820612919.X | 申请日： | 2018-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN208488162U | 公开（公告）日： | 2019-02-12 |
| 发明（设计）人： | N·D·伊万斯;J·S·艾伽什;G·B·恩德特 | 申请（专利权）人： | 苹果公司 |
| 主分类号： | G01H11/06 | 分类号： | G01H11/06;G01H11/08;G01L9/06;G01L9/12 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 边海梅 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种微机电系统MEMS环境压力和声学传感器，该MEMS环境压力和声学传感器包括：具有壳体壁的壳体，该壳体限定内部腔室和至该内部腔室的声学输入开口；移动结构，该移动结构定位在内部腔室内并且以声学方式耦接到声学输入开口。该移动结构具有能够响应于声压输入而移动的声学感测部分和能够响应于环境压力输入而移动的环境压力感测部分。该传感器还包括电路，该电路电耦接到移动结构并且是可操作的以基于移动结构的移动来确定声学输出和环境压力输出。 | ||
| 搜索关键词： | 环境压力 移动结构 声学 传感器 和声学 微机电系统 内部腔室 输入开口 壳体 移动 电路 本实用新型 输出 声学方式 压力感测 壳体壁 可操作 内部腔 响应 电耦 感测 声压 室内 | ||
【主权项】：
1.一种微机电系统MEMS环境压力和声学传感器，特征在于，包括：具有壳体壁的壳体，所述壳体限定内部腔室和至所述内部腔室的声学输入开口；移动结构，所述移动结构定位在所述内部腔室内并且以声学方式耦接到所述声学输入开口，所述移动结构具有能够响应于声压输入而移动的声学感测部分和能够响应于环境压力输入而移动的环境压力感测部分；和电路，所述电路电耦接到所述移动结构，所述电路是可操作的以基于所述移动结构的移动来确定声学输出和环境压力输出。
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