[实用新型]用于PVD立式产线设备的载板取放装置有效

专利信息
申请号: 201820621687.4 申请日: 2018-04-27
公开(公告)号: CN208234069U 公开(公告)日: 2018-12-14
发明(设计)人: 苏艳波 申请(专利权)人: 北京创昱科技有限公司
主分类号: B65G47/74 分类号: B65G47/74;B65G47/92
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 王莹;吴欢燕
地址: 102209 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型涉及PVD镀膜技术领域,提供了一种用于PVD立式产线设备的载板取放装置。该装置包括固定板、固定单元和两个支架,两个所述支架分别设置在所述固定板的下方的前后两侧,每个所述支架包括长支腿、短支腿和连接杆,所述长支腿和所述连接杆的顶端分别与所述固定板的左右两侧活动连接,所述连接杆的底端与所述短支腿的顶端活动连接,所述短支腿的中部与所述长支腿的中部活动连接;至少一个所述支架上设有驱动单元,所述驱动单元用于驱动所述支架收拢或展开;所述固定单元用于将载板固定在所述固定板的上表面。本实用新型结构简单、操作便捷,不仅能够实现快速、便捷的取放载板,大幅降低工作人员的劳动强度,而且还能显著提高工作效率。
搜索关键词: 支架 固定板 载板 活动连接 长支腿 短支腿 连接杆 本实用新型 固定单元 驱动单元 取放装置 产线 工作效率 左右两侧 上表面 收拢 底端 取放 驱动
【主权项】:
1.一种用于PVD立式产线设备的载板取放装置,其特征在于,包括固定板、固定单元和两个支架,两个所述支架分别设置在所述固定板的下方的前后两侧,每个所述支架包括长支腿、短支腿和连接杆,所述长支腿和所述连接杆的顶端分别与所述固定板的左右两侧活动连接,所述连接杆的底端与所述短支腿的顶端活动连接,所述短支腿的中部与所述长支腿的中部活动连接;至少一个所述支架上设有驱动单元,所述驱动单元用于驱动所述支架收拢或展开;所述固定单元用于将载板固定在所述固定板的上表面。
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