[实用新型]一种多晶硅铸锭用坩埚有效
| 申请号： | 201820625082.2 | 申请日： | 2018-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN208501148U | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 龙立华;付阔;穆荣升;许丽丽;吴允辉;郭大为 | 申请（专利权）人： | 烟台同立高科新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 谈杰 |
| 地址： | 264000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种多晶硅铸锭用坩埚，由若干石墨板拼接而成，所述石墨板的内表面复合有氮化硅涂层，相邻石墨板之间通过石墨螺丝和/或石墨加固块来连接或固定，相邻石墨板连接的接缝处喷涂有氮化硅涂层。本实用新型的坩埚采用石墨板拼接而成，不但可重复使用，而且由于石墨的高温强度高，在铸锭过程中可不用石墨板护板来支持，大大节约了铸锭成本；由于石墨导热性好，且不易与硅反应的特点，因而解决了熔融石英坩埚存在的漏硅率高、氧含量偏高引起的衰减、侧面红区及底部红区偏长的问题，铸锭周期可缩短约18小时以上，每月可多生产近3个硅锭，大大提高了铸锭效率。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨板 石墨 铸锭 坩埚 本实用新型 氮化硅涂层 多晶硅铸锭 拼接 导热性 熔融石英坩埚 石墨螺丝 铸锭过程 接缝处 可重复 内表面 硅锭 硅率 护板 喷涂 衰减 复合 侧面 节约 生产 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅铸锭用坩埚，其特征在于，由若干石墨板拼接而成，所述石墨板的内表面复合有氮化硅涂层，相邻石墨板之间通过石墨螺丝和/或石墨加固块来连接或固定，相邻石墨板连接的接缝处喷涂有氮化硅涂层。
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