[实用新型]一种平铺式硅片烘干炉

摘要

一种平铺式硅片烘干炉，包括炉体和传输装置，炉体具有烘干加热段，烘干加热段包括若干烘干加热箱，烘干加热箱包括两个箱体，传输装置穿设在对合设置的两个箱体之间；针对每个箱体设有加热装置和风机；加热装置包括加热板，加热板的前后两侧与箱体的内壁相连接，而加热板的左右两侧与箱体的内壁之间留有间隙，加热板上设有若干贯通加热板正反两面的通风孔；在加热板背向传输装置的一侧面上罩设有内胆罩，内胆罩的罩口端沿四周与加热板四周密封连接，内胆罩的罩面中心设有进风口；箱体上设有自然进风口和自然出风口，自然进风口将箱体内壁与内胆罩之间的空间和箱体外部空间相连通，自然出风口将内胆罩的内部空间和箱体外部空间相连通。

主权项

1.一种平铺式硅片烘干炉，包括炉体和传输装置，所述炉体具有烘干加热段，所述烘干加热段包括若干依次并行连接的烘干加热箱，所述烘干加热箱包括两个箱体，该两个箱体对合设置形成一保温空间，所述传输装置穿设在对合设置的两个箱体之间；其特征在于：针对每个箱体设有一加热装置和一风机；所述加热装置包括加热板，该加热板平行传输装置设于箱体内，所述加热板的前后两侧与箱体的内壁相连接，而加热板的左右两侧与箱体的内壁之间留有间隙，所述加热板上设有若干贯通加热板正反两面的通风孔；所述箱体内，在加热板背向传输装置的一面上罩设有一内胆罩，该内胆罩的罩口端沿四周与加热板四周密封连接，且内胆罩的罩面中心设有一进风口，所述风机的风叶伸入内胆罩的进风口内；所述箱体上还设有一自然进风口和一自然出风口，所述自然进风口用于将箱体内壁与内胆罩之间的空间和箱体外部的空间相连通，所述自然出风口用于将内胆罩的内部空间和箱体外部的空间相连通；在工作状态下，所述风机工作，外界的空气从自然进风口进入箱体内壁与内胆罩之间的空间，并从由风机送入内胆罩中，吹过加热板后，再进入箱体内壁与内胆罩之间的空间中，并从自然出风口送出箱体外部，由此使每个箱体形成一套单独热风循环系统。