[实用新型]基板吸附剥离装置有效
| 申请号： | 201820626213.9 | 申请日： | 2018-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN208392836U | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 徐玉梅 | 申请（专利权）人： | 昆山龙腾光电有限公司 |
| 主分类号： | B32B38/10 | 分类号： | B32B38/10;G02F1/13 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215301 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基板吸附剥离装置，所述基板吸附剥离装置包括：上定盘；黏着层，位于所述上定盘靠近基板的一侧；下定盘，与所述上定盘相对设置的下定盘；顶针，位于所述上定盘的通孔中；所述上定盘上的多个通孔间隔且均匀设置于所述黏着层之间。本实用新型提供了一种基板吸附剥离装置，通过使通孔均匀设置于黏着层之间，达到该装置在剥离基板时均匀受力，使用方便，可有效防止形变，提高剥离速度。 | ||
| 搜索关键词： | 上定盘 剥离装置 基板吸附 黏着层 通孔 本实用新型 均匀设置 下定盘 顶针 剥离基板 均匀受力 相对设置 形变 基板 剥离 | ||
【主权项】：
1.一种基板吸附剥离装置，其特征在于，所述基板吸附剥离装置包括：上定盘；黏着层，位于所述上定盘靠近基板的一侧；下定盘，与所述上定盘相对设置的下定盘；顶针，位于所述上定盘的通孔中；其中，所述上定盘上的多个通孔间隔且均匀设置于所述黏着层之间。
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