[实用新型]单晶炉加热器有效
| 申请号： | 201820630638.7 | 申请日： | 2018-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN208219008U | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 田龙;汪奇;高彬彬;黎涛 | 申请（专利权）人： | 新疆晶科能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王伟锋;刘铁生 |
| 地址： | 835800 新疆维吾尔自*** | 国省代码： | 新疆;65 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种单晶炉加热器，涉及单晶硅制备设备技术领域，主要目的是提供一种通过减弱熔体对流对单晶拉制的影响，从而提高单晶品质的单晶炉加热器。本实用新型的主要技术方案为：一种单晶炉加热器，包括：本体，本体包括第一加热壁和第二加热壁，第一加热壁设置在第二加热壁的上部，其中，第二加热壁的厚度厚于第一加热壁的厚度；连接脚，连接脚连接于第二加热壁，用于连接螺栓，通过将本体分为第一加热壁和第二加热壁，并且第二加热壁的厚度厚于第一加热壁的厚度，改变了溶体的温度梯度，从而降低了硅熔体的对流强度，减弱了硅熔体对流对单晶拉制的影响，进而提高了单晶的质量和品质。本实用新型主要用于制备单晶硅。 | ||
| 搜索关键词： | 加热壁 加热器 单晶炉 本实用新型 单晶硅 单晶拉制 硅熔体 连接脚 单晶 对流 连接螺栓 熔体对流 温度梯度 制备设备 溶体 制备 | ||
【主权项】：
1.一种单晶炉加热器，其特征在于，包括：本体，所述本体包括第一加热壁和第二加热壁，所述第一加热壁设置在所述第二加热壁的上部，其中，所述第二加热壁的厚度厚于所述第一加热壁的厚度；连接脚，所述连接脚连接于所述第二加热壁，用于连接螺栓。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于新疆晶科能源有限公司，未经新疆晶科能源有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201820630638.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
