[实用新型]用于制备多孔模板的衬底有效
| 申请号： | 201820632056.2 | 申请日： | 2018-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN208293077U | 公开（公告）日： | 2018-12-28 |
| 发明（设计）人： | 李国强;李筱婵;王文樑;郑昱林 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/58 | 分类号： | C23C14/58;C23C14/14;C23C14/35;C23C16/34;C23C28/00 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 陈文姬 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了用于制备多孔模板的衬底，依次包括基板、金属钛薄膜、多孔氮化钛薄膜。所述多孔氮化钛薄膜为由金属钛薄膜表面产生氮化反应开裂形成的成多孔氮化钛薄膜。所述金属钛薄膜的厚度为1‑12nm。本实用新型的模板的尺寸取决于衬底本身而不受制于制备方法，更加适用于大尺寸工业生产需求。 | ||
| 搜索关键词： | 多孔氮化钛 金属钛薄膜 制备 薄膜 多孔模板 衬底 本实用新型 氮化反应 基板 | ||
【主权项】：
1.用于制备多孔模板的衬底，其特征在于，依次包括基板、金属钛薄膜、多孔氮化钛薄膜。
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