[实用新型]一种柔性衬底基板以及高平整度柔性衬底有效
| 申请号： | 201820637682.0 | 申请日： | 2018-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN208271866U | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 王金华 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/15 | 分类号： | H01L23/15;H01L23/14 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种柔性衬底基板以及高平整度柔性衬底。柔性衬底基板包括一玻璃板和一吸附底板，玻璃板的正面涂覆有柔性衬底材料，吸附底板具有真空腔，能够将基板平整的吸附在真空平台平面上，以保证柔性衬底材料的和玻璃板的平整度。该基板在柔性衬底材料固化过程中，可增加底部真空吸附力，抑制柔性衬底材料向上的收缩力，防止玻璃板发生翘曲，提高柔性衬底和玻璃基板的平整度。还涉及一种高平整度柔性衬底，由柔性衬底材料上述柔性衬底基板上经高温固化后得到。该柔性衬底在固化制程中不会产生翘曲，具有较高的平整度，有助于提高产品的品质和相关工艺的制程精度。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性衬底材料 玻璃板 衬底基板 衬底 高平整度 平整度 吸附 底板 基板 翘曲 制程 真空吸附力 玻璃基板 高温固化 固化过程 真空平台 收缩力 真空腔 上经 涂覆 固化 平整 保证 | ||
【主权项】：
1.一种柔性衬底基板，包括一玻璃板和一吸附底板，所述玻璃板的正面涂覆有柔性衬底材料，其特征在于，所述吸附底板具有真空腔，能够将所述柔性衬底基板平整的吸附在真空平台平面上，以保证柔性衬底材料和所述玻璃板的平整度。
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