[实用新型]微波等离子体化学气相沉积装置有效
| 申请号： | 201820639883.4 | 申请日： | 2018-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN208167149U | 公开（公告）日： | 2018-11-30 |
| 发明（设计）人： | 马懿;马修·L·斯卡林;朱金华;吴建新;缪勇;卢荻;艾永干;克里斯托弗·E·格里芬 | 申请（专利权）人： | 苏州贝莱克晶钻科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/00 | 分类号： | C30B25/00;C30B29/04 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王锋;王茹 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种微波等离子体化学气相沉积装置，包括设置于谐振腔内的反射板和基板，反射板和基板相对设置，所述反射板上镂空有至少一窗口，该反射板至少背离所述基板的表面为电磁波反射面，所述基板面向所述窗口的一侧为一金刚石生长侧，所述基板的表面凸伸有至少一籽晶，每个所述籽晶分别对应于一所述窗口内，所述反射板和基板相对谐振腔在竖直方向位移可调。本实用新型通过双升降结构，不仅可以控制等离子在腔体内上下高度可以调节，而且籽晶相对于等离子的位置也亦可以调节。此方法可以很好的控制等离子在腔体内垂直方向的位置，也可以很好的控制籽晶生长环境的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 反射板 基板 等离子 籽晶 微波等离子体化学气相沉积 谐振腔 体内 基板相对设置 竖直方向位移 本实用新型 金刚石生长 基板相对 升降结构 籽晶生长 电磁波 镂空 反射面 可调 凸伸 背离 申请 | ||
【主权项】：
1.一种微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，包括设置于谐振腔内的反射板和基板，反射板和基板相对设置，所述反射板上镂空有至少一窗口，该反射板至少背离所述基板的表面为电磁波反射面，所述基板面向所述窗口的一侧为一金刚石生长侧，所述基板的表面凸伸有至少一籽晶，每个所述籽晶分别对应于一所述窗口内，所述反射板和基板相对谐振腔在竖直方向位移可调。
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