[实用新型]单晶金刚石合成装置有效

专利信息
申请号: 201820639884.9 申请日: 2018-05-02
公开(公告)号: CN208167155U 公开(公告)日: 2018-11-30
发明(设计)人: 马懿;马修·L·斯卡林;朱金华;吴建新;缪勇;卢荻;艾永干;克里斯托弗·E·格里芬 申请(专利权)人: 苏州贝莱克晶钻科技有限公司
主分类号: C30B29/04 分类号: C30B29/04;C30B25/02
代理公司: 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 代理人: 王锋;王茹
地址: 215000 江苏省苏州市*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 本申请公开了一种单晶金刚石合成装置,包括微波源、等离子体耦合装置和谐振装置,所述谐振装置包括一谐振腔,所述谐振腔内具有一金刚石生长面,等离子体耦合装置能够将来自所述微波源的微波在金刚石生长面的下方激发形成等离子体。本实用新型通过在基片下表面沉积金刚石薄膜,可以有效的解决金刚石生产过程中的杂质污染。
搜索关键词: 等离子体耦合 单晶金刚石 金刚石生长 合成装置 微波源 谐振腔 等离子体 沉积金刚石薄膜 本实用新型 金刚石生产 谐振装置 杂质污染 下表面 微波 激发 申请
【主权项】:
1.一种单晶金刚石合成装置,其特征在于,包括微波源、等离子体耦合装置和谐振装置,所述谐振装置包括一谐振腔,所述谐振腔内具有一金刚石生长面,等离子体耦合装置能够将来自所述微波源的微波在金刚石生长面的下方激发形成等离子体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州贝莱克晶钻科技有限公司,未经苏州贝莱克晶钻科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201820639884.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top