[实用新型]多脉冲激光吹气系统扫描装置

摘要

本实用新型属受控核聚变杂质注入技术领域，具体涉及一种多脉冲激光吹气系统扫描装置。所述的多脉冲激光吹气系统扫描装置采用二维(XY方向)扫描振镜，能够高速步进式移动激光焦斑在靶片上的相对位置的装置，该系统包括：激光准直器、45°全反射镜、Y方向扫描振镜、X方向扫描振镜、fθ透镜、二维平移台。该设计能够高速步进式移动激光焦斑在靶片上的相对位置，转动中Y方向扫描振镜可以沿Y方向移动激光焦斑在靶片上的位置，转动X方向扫描振镜可以沿X方向移动激光焦斑在靶片上的位置。可以沿垂直于激光束的水平方向调节靶片上激光扫描的中心位置，还可以沿平行于激光束的方向调节靶片上激光光斑的大小，从而调节杂质注入量。

主权项

1.多脉冲激光吹气系统扫描装置包括激光准直器(1)、45°全反射镜(2)、Y方向扫描振镜(3)、X方向扫描振镜(4)、fθ透镜(5)、靶片(6)、二维平移台(7)，其特征在于：水平方向的激光束经过激光准直器(1)扩束后，入射到45°全反射镜(2)上，经过全反射镜(2)反射后沿竖直方向射出，然后入射到Y方向扫描振镜(3)上，反射后再入射到X方向扫描振镜(4)上，经过X方向扫描振镜(4)后的出射光垂直于靶片(6)所在平面，经过前面的两次反射后，出射激光束沿垂直于靶片(6)的方向入射到fθ透镜(5)，激光束穿过fθ透镜(5)会聚后入射到靶片(6)上。