[实用新型]晶圆传送盒转换装置有效
| 申请号： | 201820645122.X | 申请日： | 2018-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN208336173U | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 张朝前;马砚忠;李少雷;陈鲁 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/673;H01L21/683 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市龙华区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种晶圆传送盒转换装置，其中，所述晶圆传送盒转换装置包括：盒体，所述盒体包括第一开口；覆盖所述第一开口的盒盖，所述盒盖与所述盒体通过第一铰铰接；支撑杆，所述支撑杆包括相对的第一端和第二端，所述支撑杆向所述盒盖施加沿支撑杆轴向的作用力，所述作用力相对于所述第一铰具有第一力矩，所述盒盖的重力相对于第一铰具有第二力矩，所述第一力矩与第二力矩的方向相反，盒盖开启时的第一力矩大于盒盖关闭时的第一力矩。所述晶圆传送盒转换装置能够使盒盖开启后不容易落，进而减少对晶圆的损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 转换装置 盒盖 晶圆传送盒 支撑杆 盒体 盒盖开启 开口 本实用新型 方向相反 盒盖关闭 支撑杆轴 传送盒 第一端 铰接 晶圆 种晶 施加 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆传送盒转换装置，其特征在于，包括：盒体，所述盒体包括第一开口；覆盖所述第一开口的盒盖，所述盒盖与所述盒体通过第一铰铰接；支撑杆，所述支撑杆包括相对的第一端和第二端，所述第一端与所述盒盖通过第二铰铰接，所述第二端与所述盒体通过第三铰铰接，所述支撑杆向所述盒盖施加沿支撑杆轴向的作用力，所述作用力相对于所述第一铰具有第一力矩，所述盒盖的重力相对于第一铰具有第二力矩，所述第一力矩与第二力矩的方向相反，且当所述盒盖关闭时，所述第一力矩小于或等于第二力矩，盒盖开启时的第一力矩大于盒盖关闭时的第一力矩。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
