[实用新型]一种用于气相沉积炉的新型密封装置

摘要

本实用新型涉及加湿设备领域，具体是一种用于气相沉积炉的新型密封装置，包括密封上端，密封下端，密封垫片，密封垫片安装在密封上端及密封下端之间，密封上端内安装有绕线筒，绕线筒上缠绕有通电线圈，密封垫片内设有吸附铁片。本实用新型采用磁力吸附密封垫片与密封出口处的平面产生压力阻止密封内部气体泄露至外界，相对于传统的压紧式密封结构，长时间使用后密封性能稳定，使用寿命长，密封效果好。

主权项

1.一种用于气相沉积炉的新型密封装置，包括密封上端(2)，密封下端(1)，密封垫片(7)，其特征在于：所述密封垫片(7)安装在密封上端(2)及密封下端(1)之间，所述密封上端(2)内安装有绕线筒(4)，所述绕线筒(4)上缠绕有通电线圈(3)，所述密封垫片(7)内设有吸附铁片(8)。