[实用新型]一种用于气相沉积炉的新型装料桶有效
申请号: | 201820649697.9 | 申请日: | 2018-05-03 |
公开(公告)号: | CN208234988U | 公开(公告)日: | 2018-12-14 |
发明(设计)人: | 杨云东;李兆波;尹浩 | 申请(专利权)人: | 绵阳西磁科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44 |
代理公司: | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人: | 邹敏菲 |
地址: | 621000 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型涉及化工设备领域,具体是一种用于气相沉积炉的新型装料桶,包括装料筒,固定架,装料筒包括筒体,筒体为一空心圆筒,其下端连接有球形封头,上端安装有密封盖,球形封头为半球形,其外壁面安装有半圆外齿,半圆外齿与主动齿轮啮合,主动齿轮通过传动轴与电机连接,装料筒两侧外壁面上安装有转动套,转动套轴线与球形封头圆心处于同一水平面,固定架上固定有转动轴,转动套套接在转动轴上。本实用新型可将筒体放置于朝向0°至180°之间的角度,便于快速进行装料卸料,使用方便快捷,提高企业生产效率,同时便于物料筒内部结构的检查维修。 | ||
搜索关键词: | 球形封头 装料筒 筒体 本实用新型 气相沉积炉 半圆 固定架 转动套 转动轴 装料桶 外齿 主动齿轮啮合 同一水平面 圆心 装料 壁面安装 电机连接 化工设备 检查维修 空心圆筒 两侧外壁 企业生产 主动齿轮 半球形 传动轴 密封盖 物料筒 上端 下端 卸料 转动 | ||
【主权项】:
1.一种用于气相沉积炉的新型装料桶,包括装料筒(6),固定架(3),其特征在于:所述装料筒(6)包括筒体(6‑2),所述筒体(6‑2)为一空心圆筒,其下端连接有球形封头(6‑1),上端安装有密封盖(15),所述球形封头(6‑1)为半球形,其外壁面安装有半圆外齿(10),所述半圆外齿(10)与主动齿轮(13)啮合,所述主动齿轮(13)通过传动轴(12)与电机(11)连接,所述装料筒(6)两侧外壁面上安装有转动套(5),所述转动套(5)轴线与球形封头(6‑1)圆心处于同一水平面,所述固定架(3)上固定有转动轴(9),所述转动套(5)套接在转动轴(9)上。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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