[实用新型]电浆火炬有效
申请号: | 201820649918.2 | 申请日: | 2018-05-03 |
公开(公告)号: | CN208353689U | 公开(公告)日: | 2019-01-08 |
发明(设计)人: | 徐逸明;王立民;王齐中 | 申请(专利权)人: | 馗鼎奈米科技股份有限公司 |
主分类号: | H05H1/34 | 分类号: | H05H1/34 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国 |
地址: | 中国台湾台南市永康区亚*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种电浆火炬。此电浆火炬包含外电极、内电极、以及喷嘴。外电极具有腔室,腔室的末端具有开口。内电极设于外电极内的腔室中,并相对于腔室的开口。喷嘴接合于外电极的开口,其中喷嘴具有主要开孔以及数个凹槽,这些凹槽设于主要开孔的外缘且与主要开孔连通。主要开孔中的大气流有分流会旋入凹槽中而破坏大气流,可破坏因大气流所造成的电浆被局限在中心区域的机制,因此可放大电浆火炬的电浆区域,使得电浆火炬可进行大面积的电浆处理。 | ||
搜索关键词: | 电浆火炬 外电极 开孔 腔室 喷嘴 大气流 开口 内电极 电浆处理 电浆区域 中心区域 接合 电浆 旋入 连通 放大 分流 局限 | ||
【主权项】:
1.一种电浆火炬,其特征在于,该电浆火炬包含:一外电极,其中该外电极具有一腔室,该腔室的一末端具有一开口;一内电极,设于该外电极内的该腔室中,并相对于该腔室的该开口;以及一喷嘴,接合于该外电极的该开口,其中该喷嘴具有一主要开孔以及多个凹槽,所述多个凹槽设于该主要开孔的一外缘且与该主要开孔连通。
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