[实用新型]一种混合物理化学气相沉积装置

摘要

本实用新型公开了一种混合物理化学气相沉积装置，用于在曲面衬底上生长MgB₂厚膜。其包括反应舱，在反应舱外围设有感应加热线圈，内部设有样品台和样品衬底，其特征在于，所述样品台位于反应舱底部，由圆环部分和位于圆环中心的用于放置固体样品源的孤岛组成，且圆环部分的外缘凸起；所述样品衬底为圆筒形，垂直放置在样品台的圆环部分上；反应舱的顶部设有用于通入反应气体进气口。该装置改变了反应舱内的气流方向，使得在曲面衬底上生长MgB₂厚膜的操作更加简单有效。

主权项

1.一种混合物理化学气相沉积装置，包括反应舱，在反应舱外围设有感应加热线圈，在反应舱内设有样品台和样品衬底，其特征在于，所述样品台位于反应舱底部，由圆环部分和位于圆环中心的用于放置固体样品源的孤岛组成，且圆环部分的外缘凸起；所述样品衬底为圆筒形，垂直放置在样品台的圆环部分上；反应舱的顶部设有用于通入反应气体进气口。