[实用新型]一种真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201820659339.6 | 申请日： | 2018-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN208136324U | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 宋佳 | 申请（专利权）人： | 深圳市锆安材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 邓义华;王玮 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街道龙*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜装置，包括真空腔体、与电源相连的靶材以及工件夹紧装置。靶材与工件夹紧装置装设于真空腔体内，靶材和工件夹紧装置中的任一或两者均通过联动机构与真空腔体侧壁相连；联动机构与靶材或工件夹紧装置连接端设有使靶材或联动机构旋转的旋转机构。本实用新型中靶材和工件夹紧装置中任一或两者均与联动机构相连，能在联动机构的驱动下转动与移动，使复杂工件表面或内腔表面均匀的接收靶材溅射的原子或分子，在表面镀成均匀的膜。联动机构与靶材或工件夹紧装置的连接端设有旋转机构与靶材或工件夹紧装置相连，联动机构结合旋转机构使得靶材或工件夹紧装置的转动更具有灵活性。 | ||
| 搜索关键词： | 工件夹紧装置 靶材 联动机构 旋转机构 真空镀膜装置 本实用新型 连接端 转动 真空腔体侧壁 复杂工件 内腔表面 真空腔体 表面镀 接收靶 真空腔 溅射 装设 电源 体内 驱动 移动 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜装置，包括真空腔体、与电源相连的靶材以及工件夹紧装置，其特征在于：所述靶材与所述工件夹紧装置装设于真空腔体内，且所述靶材和工件夹紧装置中的任一或两者均通过联动机构与真空腔体侧壁相连；所述联动机构与所述靶材或所述工件夹紧装置连接端设有使所述靶材或所述联动机构旋转的旋转机构。
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