[实用新型]单晶炉用外部加料装置有效
申请号: | 201820666339.9 | 申请日: | 2018-05-04 |
公开(公告)号: | CN208440721U | 公开(公告)日: | 2019-01-29 |
发明(设计)人: | 蒋国庆 | 申请(专利权)人: | 蒋国庆 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 常州兴瑞专利代理事务所(普通合伙) 32308 | 代理人: | 肖兴坤 |
地址: | 213000 江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种单晶炉用外部加料装置,单晶炉包括化料器,它包括与化料器相连通的加料器、旋臂、用于驱动加料器旋转的旋转驱动装置和用于驱动加料器升降的升降驱动装置,加料器内设置有加料腔,所述加料器的顶端盖装有上盖;旋臂与加料器相连接;所述旋臂连接在旋转驱动装置上,以便通过旋转驱动装置驱动旋臂旋转,进而使得旋臂带动加料器旋转;所述旋臂和旋转驱动装置分别连接在升降驱动装置上,以便通过升降驱动装置驱动旋臂和旋转驱动装置升降,进而使得旋臂带动加料器升降。本实用新型可以使得单晶炉实现连续拉晶,选用合适的石英坩埚可以实现连续拉制五至六根晶棒,且拆卸方便,可减少冷却、拆炉、装炉的时间,提高了生产效率,也减少了热量的流失。 | ||
搜索关键词: | 加料器 旋臂 旋转驱动装置 单晶炉 升降驱动装置 驱动 升降 本实用新型 加料装置 化料器 拆卸方便 生产效率 石英坩埚 拉制 顶端盖 加料腔 外部 拆炉 晶棒 拉晶 上盖 装炉 冷却 | ||
【主权项】:
1.一种单晶炉用外部加料装置,单晶炉包括化料器(10),其特征在于,它包括:与化料器(10)相连通的加料器(1),所述加料器(1)内设置有加料腔,所述加料器(1)的顶端盖装有上盖(2);旋臂(3),所述旋臂(3)与加料器(1)相连接;用于驱动加料器(1)旋转的旋转驱动装置,所述旋臂(3)连接在旋转驱动装置上,以便通过旋转驱动装置驱动旋臂(3)旋转,进而使得旋臂(3)带动加料器(1)旋转;用于驱动加料器(1)升降的升降驱动装置,所述旋臂(3)和旋转驱动装置分别连接在升降驱动装置上,以便通过升降驱动装置驱动旋臂(3)和旋转驱动装置升降,进而使得旋臂(3)带动加料器(1)升降。
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