[实用新型]电动接晶托有效
申请号: | 201820666393.3 | 申请日: | 2018-05-04 |
公开(公告)号: | CN208440729U | 公开(公告)日: | 2019-01-29 |
发明(设计)人: | 蒋国庆 | 申请(专利权)人: | 蒋国庆 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 常州兴瑞专利代理事务所(普通合伙) 32308 | 代理人: | 肖兴坤 |
地址: | 213000 江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种电动接晶托,用于防止晶棒掉落,它安装在单晶炉的副室旋臂上,它包括提升杆、用于驱动提升杆升降的升降驱动装置、用于承接晶棒的托板和用于驱动托板旋转的旋转驱动装置,所述提升杆连接在升降驱动装置上,以便通过升降驱动装置驱动提升杆升降;所述托板连接在提升杆上;所述旋转驱动装置连接在提升杆和托板之间。本实用新型可以在副炉室旋转到取晶棒的位置的过程中,自动下降、旋转到合适位置,以防止因晶棒掉落而造成事故,安全高效。 | ||
搜索关键词: | 提升杆 晶棒 升降驱动装置 托板 旋转驱动装置 本实用新型 掉落 晶托 升降 驱动 合适位置 驱动托板 自动下降 单晶炉 副炉室 副室 旋臂 承接 安全 | ||
【主权项】:
1.一种电动接晶托,用于防止晶棒掉落,它安装在单晶炉的副室旋臂(10)上,其特征在于,它包括:提升杆;用于驱动提升杆升降的升降驱动装置,所述提升杆连接在升降驱动装置上,以便通过升降驱动装置驱动提升杆升降;用于承接晶棒的托板(1),所述托板(1)连接在提升杆上;用于驱动托板(1)旋转的旋转驱动装置,所述旋转驱动装置连接在提升杆和托板(1)之间。
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