[实用新型]一种PVD镀膜工件旋转悬挂装置

摘要

本实用新型属于真空镀膜辅助设备技术领域，具体涉及一种PVD镀膜工件旋转悬挂装置。所述PVD镀膜工件旋转悬挂装置包括主动力固定机构和公自转悬挂机构；所述主动力固定机构包括一固定盘、一主动力传动杆、一主动齿轮；所述公自转悬挂机构包括一活动盘、一与所述活动盘固定连接的主轴、一中心齿轮，所述主轴贯穿所述活动盘；所述活动盘上设有若干挂杆座，所述活动杆下端固定连接一从动齿轮，所述中心齿轮与每一从动齿轮啮合。所述PVD镀膜工件旋转悬挂装置结构简单，只通过主动齿轮提供动力即可实现公自转效果，不但能对装夹的PVD镀膜工件进行PVD涂层处理，又能使每个工件自转，有助于使PVD镀膜工件各个部位得到镀膜，提高镀膜均匀性，提高产量。

主权项

1.一种PVD镀膜工件旋转悬挂装置，安装于真空镀膜设备的公自转转架系统上，其特征在于：所述PVD镀膜工件旋转悬挂装置包括主动力固定机构和公自转悬挂机构，所述主动力固定机构与所述公自转悬挂机构为可拆卸传动连接；所述主动力固定机构包括一与公自转转架系统固定连接的固定盘、一主动力传动杆、一主动齿轮；所述固定盘设有第一轴承，所述主动力传动杆贯穿所述第一轴承；所述主动力传动杆下端与所述主动齿轮的中心固定连接，所述主动力传动杆上端设有传动凸块；所述公自转悬挂机构包括一活动盘、一与所述活动盘固定连接的主轴、一中心齿轮，所述主轴贯穿所述活动盘；所述活动盘上沿主轴中心等距周向设有若干挂杆座；每一所述挂杆座都包括一嵌套于所述活动盘上的挂杆座轴承和一贯穿所述挂杆座轴承的活动杆，所述活动杆上端设有用于支撑挂杆的挂杆卡槽，所述活动杆下端固定连接一从动齿轮；所述中心齿轮设于所述活动盘下方；所述中心齿轮的中心嵌套有第二轴承，所述主轴贯穿所述第二轴承；所述中心齿轮与每一从动齿轮啮合；所述主轴下端设有与所述传动凸块相匹配的传动凹槽；所述中心齿轮与所述固定盘可拆卸固定连接。