[实用新型]纳秒脉冲电化学微细加工装置有效
| 申请号： | 201820689261.2 | 申请日： | 2018-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN208162800U | 公开（公告）日： | 2018-11-30 |
| 发明（设计）人： | 李漫漫;葛红宇;顾佳钰;陈康;俞耀;杜拥璐;张建华 | 申请（专利权）人： | 南京工程学院 |
| 主分类号： | B23H3/00 | 分类号： | B23H3/00;B23H3/02;B23H11/00 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 211167 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种纳秒脉冲电化学微细加工装置，包括加工平台基座、电解液槽、工件夹持机构、电极夹持机构、电源、控制电路和工件/电极相对位置调整机构；所述工件夹持机构在电解液槽内，电极夹持机构在工件夹持机构的上方。所述工件/电极相对位置调整机构包括大位移的宏运动机构和微量位移的微运动机构；宏运动机构包括X向运动机构、Y向运动机构和Z向运动机构；微运动机构的运动方向为Z’向；微运动机构包括压电致动器；压电致动器的主体竖直固定于Z向运动机构；电极夹持机构连接在压电致动器上；X向运动机构固定在加工平台基座上；Y向运动机构固定在X向运动机构上，随之作X向运动；电解液槽固定在Y向运动机构上，随之作Y向运动；Z向运动机构固定在加工平台基座上。 | ||
| 搜索关键词： | 电极夹持机构 工件夹持机构 压电致动器 电解液槽 加工平台 微运动 电化学微细加工装置 相对位置调整 纳秒脉冲 运动机构 电极 控制电路 竖直固定 微量位移 大位移 电源 | ||
【主权项】：
1.一种纳秒脉冲电化学微细加工装置，包括加工平台基座、电解液槽、工件夹持机构、电极夹持机构、电源、控制电路和工件/电极相对位置调整机构；电源为本加工装置的用电部分提供电源；所述工件夹持机构在电解液槽内，电极夹持机构在工件夹持机构的上方，其特征是所述工件/电极相对位置调整机构包括大位移的宏运动机构和微量位移的微运动机构；大位移的宏运动机构包括X向运动机构、Y向运动机构和Z向运动机构，X向、Y向和Z向与三维坐标系xyz的X、Y和Z轴方向对应；X向、Y向和Z向运动机构的驱动装置都是交流伺服电机，分别设为X电机、Y电机和Z电机；微量位移的微运动机构的运动方向为Z’向，Z’向与三维坐标系xyz的Z轴方向对应；微运动机构包括压电致动器；压电致动器的主体竖直固定于Z向运动机构，且随之作Z向运动；电极夹持机构连接在压电致动器上，且随之作Z’向运动；压电致动器、X电机、Y电机和Z电机的控制输入端分别通过驱动电路连接控制电路的相应控制信号输出端；所述X向运动机构固定在加工平台基座上；Y向运动机构固定在X向运动机构上，随之作X向运动；电解液槽固定在Y向运动机构上，随之作Y向运动；Z向运动机构固定在加工平台基座上。
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