[实用新型]一种大型曝光机用高效性导气条有效
申请号: | 201820693466.8 | 申请日: | 2018-05-10 |
公开(公告)号: | CN208270939U | 公开(公告)日: | 2018-12-21 |
发明(设计)人: | 苏伟;王雷;王海峰;高荣亮;陆永荣 | 申请(专利权)人: | 深圳市志凌伟业技术股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙) 11531 | 代理人: | 马金华 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙华新区观澜*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种大型曝光机用高效性导气条,包括导气条和除气孔,所述导气条的内壁镶嵌有绝缘层,且导气条的内部底端连接有电解箔,所述电解箔的上端安装有金属基层,且金属基层的上端固定有塑胶软板,所述导气条的内部左侧安置有插槽,且导气条的内部设置有分隔层,所述导气条的内部上端镶嵌有玻纤布基层,且导气条的上端连接有接触条,所述接触条的内部安装有弹簧,所述导气条的右侧固定有软胶柱,所述分隔层的内部安置有导向架,且导向架的外侧设置有环氧树脂。该大型曝光机用高效性导气条设置有塑胶软板,其能够在导气条在使用时,增加导气条的韧性,防止导气条在玻璃板和PCB板的挤压力下产生变形,提高导气条的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 导气 高效性 曝光机 上端 金属基层 塑胶软板 导向架 分隔层 接触条 电解 环氧树脂 玻璃板 绝缘层 镶嵌 本实用新型 内部安装 内部设置 上端固定 使用寿命 外侧设置 玻纤布 挤压力 软胶柱 安置 插槽 弹簧 底端 内壁 变形 基层 | ||
【主权项】:
1.一种大型曝光机用高效性导气条,包括导气条(1)和除气孔(15),其特征在于:所述导气条(1)的内壁镶嵌有绝缘层(2),且导气条(1)的内部底端连接有电解箔(3),所述电解箔(3)的上端安装有金属基层(4),且金属基层(4)的上端固定有塑胶软板(6),所述导气条(1)的内部左侧安置有插槽(5),且导气条(1)的内部设置有分隔层(7),所述导气条(1)的内部上端镶嵌有玻纤布基层(8),且导气条(1)的上端连接有接触条(9),所述接触条(9)的内部安装有弹簧(10),所述导气条(1)的右侧固定有软胶柱(11),所述分隔层(7)的内部安置有导向架(12),且导向架(12)的外侧设置有环氧树脂(13),所述除气孔(15)镶嵌于接触条(9)的正面,且接触条(9)的外侧安装有槽孔(14)。
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