[实用新型]一种过滤式阴极电弧沉积装置

摘要

本实用新型公开了一种过滤式阴极电弧沉积装置，过滤弯管左侧与探针连接，探针位于第二法兰内侧，过滤弯管外侧设有过滤磁场线圈，过滤弯管右侧与第一法兰连接，第一法兰与阳极连接，阳极与过板连接，过板外侧与阴极连接，过板与引弧针过板连接，阴极外侧设有磁铁，本实用新型结构简单，通过阴极、阳极、过滤弯管来调节电极，从而来保证石墨靶材的正常运转。

主权项

1.一种过滤式阴极电弧沉积装置，其特征在于，包括阴极、磁铁、引弧针过板、过板磁场圈、阳极、第一法兰、过滤磁场线圈、过滤弯管、第二法兰、探针，所述过滤弯管左侧与探针连接，所述探针位于第二法兰内侧，所述过滤弯管外侧设有过滤磁场线圈，所述过滤弯管右侧与第一法兰连接，所述第一法兰与阳极连接，所述阳极与过板连接，所述过板上下两侧设有过板磁场圈，所述过板外侧与阴极连接，所述过板与引弧针过板连接，所述阴极外侧设有磁铁。