[实用新型]物理气相沉积反应室的磁铁旋转机构

摘要

一种物理气相沉积反应室的磁铁旋转机构，包括基座、固定齿轮、中心轴、旋臂、旋转齿轮、磁盘及平衡块，该基座固设于反应室内部，该固定齿轮固设于该基座的底面上，该中心轴穿过基座与固定齿轮，上端链接一驱动器，下端凸伸出固定齿轮并与旋臂固设，该旋转齿轮可转动地结合于该旋臂的一端，且与该固定齿轮相啮合，中央具有一轮轴凸伸至旋臂的下方，该磁盘包含固设于轮轴下端且平行间隔设置的多数盘体及固设于该多数盘体间且以相反磁极呈双螺旋线状排列的多数磁铁，该平衡块固设于旋臂的另一端，且使固定齿轮位于平衡块与旋转齿轮之间。本实用新型使整个靶材都能被磁场扫描到，进而提升靶材使用效率及镀膜均匀性。

主权项

1.一种物理气相沉积反应室的磁铁旋转机构，包括一固设于一反应室内部的基座，其特征在于，所述基座的底面上固设一固定齿轮；一中心轴可转动地穿过该基座与该固定齿轮，该中心轴上端链接一驱动器，下端凸伸出该固定齿轮的下方；一旋臂固设在该中心轴的下端并被该中心轴驱动旋转；一旋转齿轮结合于该旋臂的一端，且与该固定齿轮相啮合，该旋转齿轮的中央具有一轮轴凸伸至该旋臂的下方；一磁盘包含固设于该轮轴下端且平行间隔设置的多数盘体及固设于该多数盘体间且以相反磁极呈双螺旋线状排列的多数磁铁；以及一平衡块固设于该旋臂的另一端，且使该固定齿轮位于该平衡块与该旋转齿轮之间。