[实用新型]一种金刚石膜的制备装置

摘要

本实用新型涉及金刚石膜的制备技术，具体是一种金刚石膜的制备装置。本实用新型解决了现有金刚石膜的制备方法制备效率低、制备质量差的问题。一种金刚石膜的制备装置，包括主体部分和控制部分；所述主体部分包括真空反应室、热丝阵列、支撑柱、杯形水冷腔、进水管、出水管、金属散热板、基片、传动柱、传动板、防水散热罩、超声波换能器、速度传感器、位移传感器、加速度传感器；所述控制部分包括微分器、积分器、三位转换开关、放大器、移相器、主施密特触发器、锁相环、第一PWM控制芯片、第一MOSFET、第一开关电源变压器、第一整流器、第一衰减器、第一从施密特触发器。本实用新型适用于金刚石膜的制备。

主权项

1.一种金刚石膜的制备装置，其特征在于：包括主体部分和控制部分；所述主体部分包括真空反应室（101）、热丝阵列（102）、支撑柱（103）、杯形水冷腔（104）、进水管（105）、出水管（106）、金属散热板（107）、基片（108）、传动柱（109）、传动板（110）、防水散热罩（111）、超声波换能器（112）、速度传感器（113）、位移传感器（114）、加速度传感器（115）；真空反应室（101）的顶壁中央贯通开设有进气孔（116）；真空反应室（101）的底壁中央贯通开设有出气孔（117）；热丝阵列（102）水平安装于真空反应室（101）的内腔上部；支撑柱（103）的数目为若干个；各个支撑柱（103）均垂直固定于真空反应室（101）的内底壁；杯形水冷腔（104）支撑固定于各个支撑柱（103）的上端面，且杯形水冷腔（104）的杯口朝上；杯形水冷腔（104）的侧壁的径向截面为S形截面；杯形水冷腔（104）的底壁分别贯通开设有进水孔和出水孔；进水管（105）密封贯穿真空反应室（101）的侧壁下部，且进水管（105）的一端与进水孔密封连通；出水管（106）密封贯穿真空反应室（101）的侧壁下部，且出水管（106）的一端与出水孔密封连通；金属散热板（107）封盖于杯形水冷腔（104）的杯口上；基片（108）水平安装于金属散热板（107）的上表面中央，且基片（108）位于热丝阵列（102）的下方；传动柱（109）的数目为若干个；各个传动柱（109）均垂直固定于金属散热板（107）的下表面；传动板（110）支撑固定于各个传动柱（109）的下端面；防水散热罩（111）密封扣接于传动板（110）的下表面边缘；超声波换能器（112）的上端面与传动板（110）的下表面中央固定；超声波换能器（112）的下端面与防水散热罩（111）的内底壁中央固定；速度传感器（113）、位移传感器（114）、加速度传感器（115）均安装于传动板（110）的下表面；所述控制部分包括微分器（201）、积分器（202）、三位转换开关（203）、放大器（204）、移相器（205）、主施密特触发器（206）、锁相环（207）、第一PWM控制芯片（208）、第一MOSFET（209）、第一开关电源变压器（210）、第一整流器（211）、第一衰减器（212）、第一从施密特触发器（213）、第二PWM控制芯片（214）、第二MOSFET（215）、第二开关电源变压器（216）、第二整流器（217）、第二衰减器（218）、第二从施密特触发器（219）、直流双电源转换开关（220）、超声波发生器；速度传感器（113）的输出端与三位转换开关（203）的第一个输入端连接；位移传感器（114）的输出端与微分器（201）的输入端连接；微分器（201）的输出端与三位转换开关（203）的第二个输入端连接；加速度传感器（115）的输出端与积分器（202）的输入端连接；积分器（202）的输出端与三位转换开关（203）的第三个输入端连接；三位转换开关（203）的输出端与放大器（204）的输入端连接；放大器（204）的输出端与移相器（205）的输入端连接；移相器（205）的输出端与主施密特触发器（206）的输入端连接；主施密特触发器（206）的输出端与锁相环（207）的参考输入端连接；锁相环（207）的两个输出端分别与第一PWM控制芯片（208）的输入端和第二PWM控制芯片（214）的输入端连接；第一PWM控制芯片（208）的输出端与第一MOSFET（209）的输入端连接；第一MOSFET（209）的两个输出端分别与第一开关电源变压器（210）的两个输入端连接；第一开关电源变压器（210）的两个输出端分别与第一整流器（211）的两个输入端连接；第一整流器（211）的正输出端分别与第一衰减器（212）的输入端和直流双电源转换开关（220）的第一个正输入端连接；第一整流器（211）的负输出端与直流双电源转换开关（220）的第一个负输入端连接；第一衰减器（212）的输出端与第一从施密特触发器（213）的输入端连接；第一从施密特触发器（213）的输出端与锁相环（207）的第一个反馈输入端连接；第二PWM控制芯片（214）的输出端与第二MOSFET（215）的输入端连接；第二MOSFET（215）的两个输出端分别与第二开关电源变压器（216）的两个输入端连接；第二开关电源变压器（216）的两个输出端分别与第二整流器（217）的两个输入端连接；第二整流器（217）的正输出端与直流双电源转换开关（220）的第二个正输入端连接；第二整流器（217）的负输出端分别与第二衰减器（218）的输入端和直流双电源转换开关（220）的第二个负输入端连接；第二衰减器（218）的输出端与第二从施密特触发器（219）的输入端连接；第二从施密特触发器（219）的输出端与锁相环（207）的第二个反馈输入端连接；直流双电源转换开关（220）的正输出端与热丝阵列（102）连接；直流双电源转换开关（220）的负输出端与金属散热板（107）连接；超声波发生器的输出端与超声波换能器（112）的输入端连接。