[实用新型]一种高精度恒压强闭环控制仪有效
| 申请号： | 201820706818.9 | 申请日： | 2018-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN208796057U | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 李纲;张旭;杨靖;罗立珍 | 申请（专利权）人： | 湖南菲尔姆真空设备有限公司;湖南天羿领航科技有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/042 | 分类号： | G05B19/042 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 伍传松 |
| 地址： | 410600 湖南省长*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高精度恒压强闭环控制仪，包括闭环控制仪本体和真空电控系统，闭环控制仪本体包括支架、设置在支架上的真空屏蔽箱、真空屏蔽箱内设置有用于放置芯片的内屏蔽盒；真空电控系统包括与真空屏蔽箱相连的真空泵、设置在真空屏蔽箱内的真空计、流量计，以及与真空泵、真空计、流量计电性连接的控制模块。本设计通过真空屏蔽箱和内屏蔽盒的双层设计，并且在内屏蔽盒外侧和真空屏蔽箱内侧都覆盖有电磁屏蔽层，能够有效屏蔽电磁干扰；控制模块通过监测数据实时控制真空泵的进气量来实现真空屏蔽箱内部压强的闭环控制，能够提供稳定的真空环境，保证了芯片的测试结果的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 真空屏蔽 闭环控制 真空泵 流量计 压强 电控系统 控制模块 内屏蔽 真空计 支架 芯片 本实用新型 电磁屏蔽层 电磁干扰 电性连接 监测数据 内部压强 实时控制 双层设计 有效屏蔽 真空环境 进气量 屏蔽盒 覆盖 保证 | ||
【主权项】：
1.一种高精度恒压强闭环控制仪，其特征在于，包括：闭环控制仪本体(1)和真空电控系统，所述闭环控制仪本体(1)包括支架(11)、设置在支架(11)上的真空屏蔽箱(12)，所述真空屏蔽箱(12)内设置有用于放置芯片的内屏蔽盒(13)，所述内屏蔽盒(13)外侧和真空屏蔽箱(12)内侧皆覆盖有一层电磁屏蔽层；所述真空电控系统包括与真空屏蔽箱(12)相连的真空泵(2)、设置在真空屏蔽箱(12)内的真空计、流量计，以及与真空泵(2)、真空计、流量计电性连接的控制模块(3)。
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