[实用新型]掩膜板有效
| 申请号： | 201820714454.9 | 申请日： | 2018-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN208266253U | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 王梦凡;王国兵;苏倩;李金库;康梦华;叶訢 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种掩膜板，所述掩膜板包括：掩膜板主体；设置于所述掩膜板主体上的至少一个子掩膜板，所述子掩膜板包括蒸镀区和遮挡部，在所述子掩膜板的厚度方向上，所述遮挡部开设有至少一个凹槽，所述凹槽的深度小于所述掩膜板主体的厚度。由于在遮挡部开设有凹槽，且单个凹槽的深度小于掩膜板主体的厚度(凹槽沿厚度方向并非贯穿掩膜板主体)，既保证了遮挡部不会存在像素蒸镀到基板上，又减少了遮挡部的厚度，从而使遮挡部的重量减小，使遮挡部的重量与蒸镀区的重量差距小，降低了遮挡部的应力集中，从而使掩膜板主体在张网过程中受力均匀，进一步降低了掩膜板主体在张网过程中的褶皱现象。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 遮挡 蒸镀 张网 受力均匀 应力集中 重量减小 褶皱现象 基板 像素 掩膜 贯穿 保证 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板，其特征在于，所述掩膜板包括：掩膜板主体；设置于所述掩膜板主体上的至少一个子掩膜板，所述子掩膜板包括蒸镀区和遮挡部，在所述子掩膜板的厚度方向上，所述遮挡部开设有至少一个凹槽，所述凹槽的深度小于所述掩膜板主体的厚度。
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