[实用新型]一种双面镀膜石墨舟

摘要

本实用新型公开了一种双面镀膜石墨舟，包括舟片、硅片和卡点，所述硅片安装在舟片厚度的中间位置，所述舟片上设置卡点，硅片固定于卡点的中间位置，所述卡点为沙漏状结构，所述舟片上设置安装槽，卡点安装在安装槽的内部。本实用新型结构简单，通过将硅片放置与舟片厚度的中间位置，则可以将两个面同时进行镀膜工艺，避免硅片大面积与舟片接触和重复的上下硅片，减少硅片划伤的概率，提高了良品率和降低了运行成本。

主权项

1.一种双面镀膜石墨舟，其特征在于，包括舟片（1）、硅片（2）和卡点（3），所述硅片（2）安装在舟片（1）厚度的中间位置，所述舟片（1）上设置卡点（3），硅片（2）固定于卡点（3）的中间位置。