[实用新型]一种离子源设备有效
| 申请号： | 201820728190.2 | 申请日： | 2018-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN208113046U | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 陈宇航;龙继东;赵良超;何小中;马超凡;杨振;董攀;蓝朝晖;刘尔祥;龙全红 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院流体物理研究所 |
| 主分类号： | H05H7/08 | 分类号： | H05H7/08;H05H13/00 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 梁田 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种离子源设备，该离子源采用了阳极筒的沉台孔结构，结合下沉式或喷管式的准直器及阴极配合这种间隙结构，能够有效增加阴极与准直孔之间的距离，增加准直器面对阴极部分的表面积，提升准直器上冷凝阴极金属蒸汽的有效体积，削弱由于阴极金属蒸汽冷凝带来的影响；阴阳极组成的放电结构有效的提升了负氢离子的生产效率，同时也减少了阴极材料的蒸发速率；在不改变阳极筒长度的前提下，将准直器安装在阳极筒内部，可以使离子源内气压保持在一个更高的值，从而降低外界对离子源的供气量，有效减少束流在加速器中的输运损失，有效提升了离子源的放电稳定性与放电寿命，以此有效提升离子源设备的工作寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 准直器 阴极 离子源设备 阳极筒 阴极金属 本实用新型 放电稳定性 喷管 放电结构 放电寿命 负氢离子 工作寿命 间隙结构 气压保持 生产效率 阴极材料 有效减少 有效体积 蒸汽冷凝 沉台孔 供气量 下沉式 准直孔 冷凝 加速器 输运 束流 蒸汽 蒸发 削弱 配合 | ||
【主权项】：
1.一种离子源设备，包括阳极筒(1)、阴极(2)和准直器(3)，其特征在于，所述阳极筒(1)为一个中空的圆筒，所述阳极筒(1)的侧面开有一条离子引出狭缝(1.2)；在所述阳极筒(1)两端对称设置有沉台孔(1.1)，且在所述沉台孔(1.1)上安装下沉式或喷管式准直器(3)，所述准直器(3)与所述沉台孔(1.1)相接的一端开有一个与所述准直器(3)同心的准直孔(3.1)，所述准直孔(3.1)的孔径D1小于所述阳极筒(1)的内径；在所述阳极筒(1)与所述准直器(3)组成的装配体两端对称安装阴极(2)，所述阴极(2)的阴极头(2.1)为圆形且与所述准直孔(3.1)同心。
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