[实用新型]高精度移动对位平台

摘要

本实用新型提供一种高精度移动对位平台，其包括底板、第一滑块组件、第二滑块组件、电机以及平台板，其中，第一滑块组件设置在底板的中部，三个第二滑块组件分别设置在底板的三角，三个电机，分别通过丝杠螺母组件与三个第二滑块组件一一对应传动连接，平台板连接在第一滑块组件和第二滑块组件的顶部，以获得沿X向轴线、Y向轴线的滑动，以及在X向轴线、Y向轴线构成的平面内转动的驱动力，其中第一滑块组件的机械性能强于第二滑块组件的机械性能。本实用新型的高精度移动对位平台通过在底板的中部设置机械性能更强的第一滑块组件，来应对受力不均的情况，使其性能更强不容易失效，能持续保持高精度。

主权项

1.一种高精度移动对位平台，其特征在于，包括：底板；一个第一滑块组件，设置在所述底板的中部，包括第一滑块和叠层设置在第一滑块顶部的第二滑块，所述第一滑块沿X向轴线滑动，所述第二滑块沿Y向轴线滑动，所述第一滑块转动设置在所述底板上，所述X向轴线和所述Y向轴线垂直；三个第二滑块组件，分别设置在所述底板的三角，包括第三滑块和叠层转动设置在第三滑块顶部的第四滑块，其中两个所述第二滑块组件的第三滑块沿所述X向轴线滑动，第四滑块沿所述Y向轴线滑动，另外一个所述第二滑块组件的第三滑块沿所述Y向轴线滑动，第四滑块沿所述X向轴线滑动；三个电机，分别通过丝杠螺母组件与三个所述第三滑块一一对应连接，以驱动所述第三滑块滑动；平台板，连接在所述第一滑块组件和所述第二滑块组件的顶部，以获得沿所述X向轴线、所述Y向轴线的滑动，以及在所述X向轴线、所述Y向轴线构成的平面内转动的驱动力；其中所述第一滑块组件的机械性能强于所述第二滑块组件的机械性能。