[实用新型]一种维持动态压力的电负性气体喷射装置有效
| 申请号： | 201820735889.1 | 申请日： | 2018-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN208172617U | 公开（公告）日： | 2018-11-30 |
| 发明（设计）人： | 刘宇;雷久侯;曹金祥;余鹏程;李敏迟 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G05D16/20 | 分类号： | G05D16/20;H05H1/26 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;赵镇勇 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种维持动态压力的电负性气体喷射装置，包括气压维持仓，气压维持仓内设有活塞，活塞与螺杆传动装置连接，螺杆传动装置与步进电机连接，气压维持仓设有注气口、出气口和气压表，注气口和出气口分别设有电磁阀控制。气压维持仓设有活塞位置检测装置。气压表、电磁阀控制、步进电机的控制单元和活塞位置检测装置分别与控制系统连接。出气口与产生等离子体的真空室相连，注气口与电负性气体气瓶相连，能够动态维持气压，维持电负性气体释放速度稳定，从而保证物理实验结果的精确性。解决了电负性气体释放中气压不断下降的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 电负性气体 气压维持 出气口 注气口 活塞位置检测装置 螺杆传动装置 电磁阀控制 活塞 步进电机 动态压力 喷射装置 气压表 气压 等离子体 本实用新型 动态维持 控制系统 速度稳定 物理实验 释放 真空室 保证 | ||
【主权项】：
1.一种维持动态压力的电负性气体喷射装置，其特征在于，包括气压维持仓，所述气压维持仓内设有活塞，所述活塞与螺杆传动装置连接，所述螺杆传动装置与步进电机连接，所述气压维持仓设有注气口、出气口和气压表，所述注气口和出气口分别设有电磁阀控制。
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