[实用新型]一种光路一致式位移传感器有效
申请号: | 201820746845.9 | 申请日: | 2018-05-18 |
公开(公告)号: | CN208171190U | 公开(公告)日: | 2018-11-30 |
发明(设计)人: | 张白 | 申请(专利权)人: | 北方民族大学 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 北京市领专知识产权代理有限公司 11590 | 代理人: | 林辉轮;张玲 |
地址: | 750021 宁夏回族*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种光路一致式位移传感器,包括激光束一;反射镜一,用于接收激光束一被三角波反射镜的第一反射面反射的激光束,且使该激光束在激光束一入射至同一个第一反射面的测量过程中,沿同一路径反射至三角波反射镜的第二反射面;光电探测器一,用于接收反射镜一反射至三角波反射镜的第二反射面后经第二反射面反射的激光束,并测量其入射位置;处理系统,用于根据光电探测器一接收到的激光束一的入射位置变化量计算出被测物体的位移变化值。本实用新型光路一致式位移传感器,通过反射镜的设置,可以使得位移前后的激光沿相同的路径入射至光电探测器,因此可以提高光路一致式位移传感器的测量精度。 | ||
搜索关键词: | 激光束 反射镜 反射 位移传感器 反射面 光路 光电探测器 三角波 本实用新型 入射位置 入射 测量 变化量计算 被测物体 测量过程 处理系统 同一路径 位移变化 激光 | ||
【主权项】:
1.一种光路一致式位移传感器,其特征在于,包括:三角波反射镜,包括第一反射面和第二反射面;激光束一,入射至三角波反射镜的第一反射面;反射镜一,用于接收激光束一被三角波反射镜的第一反射面反射的激光束,且使该激光束在激光束一入射至同一个第一反射面的测量过程中,沿同一路径反射至三角波反射镜的第二反射面;光电探测器一,用于接收反射镜一反射至三角波反射镜的第二反射面后经第二反射面反射的激光束,并测量其入射位置;处理系统,用于根据光电探测器一接收到的激光束一的入射位置变化量计算出被测物体的位移变化值。
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